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tungsten hexafluoride (WF₆) ≥

99.999

nitrogen gas (N₂)　/ppmv ＜

1

oxygen+argon (O₂+Ar)　/ppmv ＜

0.5

carbon monoxide (CO)　 /ppmv＜

0.5

carbon dioxide (CO₂)　/ppmv＜

0.5

carbon tetrafluoride (CF₄)　/ppmv＜

0.5

nitrogen trifluoride (NF₃)　/ppmv ＜

0.5

sulfur hexafluoride (SF₆)　/ppmv＜

0.5

silicon fluoride (SiF₄)　 /ppmv ＜

0.5

ydrofluoric acid (HF)　 /ppmv＜

5

alumnium (Al) 　/ppmv ＜

0.2

calcium (Ca)　/ppmv＜

0.01

carbon monoxide (CO)　/ppmv＜

0.01

chromium (Cr)　/ppmv  ＜

0.02

copper (Cu) 　/ppmv ＜

0.01

iron (Fe) 　/ppmv  ＜

0.02

potassium (K)　/ppmv＜

0.15

magnesium (Mg)　/ppmv＜

0.01

manganese (Mn)　 /ppmv＜

0.1

molybdenum (Mo) 　/ppmv＜

0.5

sodium (Na)　/ppmv ＜

0.015

nickel (Ni)　 /ppmv＜

0.1

lead (Pb) 　/ppmv  ＜

0.02

thorium (Th)　/ppmv＜

0.1

uranium (U)　/ppmv ＜

0.05

zinc (Zn) 　 /ppmv ＜

0.05